COSMO科斯莫 检漏仪 超高灵敏度
核心原理（极简）示踪气体：氦气（He，分子量 4），分子极小、惰性无毒、空气中仅 5ppm，本底干扰极低。质谱检测：检漏仪将气体电离，仅筛选质荷比 m/z=4的氦离子，信号强度与泄漏率成正比。压差驱动：一侧抽真空 / 充氦加压，氦气从漏孔穿过，被质谱仪捕捉。

核心原理（极简）

示踪气体：氦气（He，分子量 4），分子极小、惰性无毒、空气中仅 5ppm，本底干扰极低。

质谱检测：检漏仪将气体电离，仅筛选质荷比 m/z=4的氦离子，信号强度与泄漏率成正比。

压差驱动：一侧抽真空 / 充氦加压，氦气从漏孔穿过，被质谱仪捕捉。

COSMO科斯莫    检漏仪 超高灵敏度

基本规格

采用氦气的泄漏测试方法真空法使工件内部处于真空状态的方法真空吹涂法真空罩法加压法向工件内部充氦气加压的方法嗅探法真空贝尔杰法加压积分法泵送法（工件无加压口的情况）

各测试方法的特征我们还提供可降低运行成本的氦气混合装置及氦气回收装置，欢迎另行咨询。我们将根据初始成本与运行成本为您提出方案。

COSMO科斯莫    检漏仪 超高灵敏度

典型应用

航空航天：航天器密封舱、燃料贮箱。

新能源：动力电池包、氢燃料电池管路。

半导体：真空腔、镀膜 / 刻蚀设备。

制冷空调：压缩机、换热器、管路系统。

医疗器械：无菌密封包装、植入件。

汽车：车灯、传感器外壳、制动系统。

与差压法（如 LS‑R740）对比

氦检：灵敏度（10⁻¹² 级），适合微漏 / 高精度；成本较高、需氦气。

差压法：灵敏度中等（0.1Pa 级），适合常规密封件 / 低成本；易受温湿度影响。