YAMAMOTO山本镀金 电镀设备 徐州
A‑63‑M202 是山本镀金（YAMAMOTO‑MS）专为哈林槽、小型电镀槽设计的双路电磁式空气搅拌泵，用于实验室电镀过程的药液搅拌与曝气，提升电镀均匀性。

A‑63‑M202 是山本镀金（YAMAMOTO‑MS）专为哈林槽、小型电镀槽设计的双路电磁式空气搅拌泵，用于实验室电镀过程的药液搅拌与曝气，提升电镀均匀性。

YAMAMOTO山本镀金  电镀设备 徐州

核心规格参数

输入电压：AC 100V（日本标准），中国使用需配 100V 变压器

功率：4.5W（50Hz）/ 3.8W（60Hz）

输出流量（双路）：

50Hz：0–4.3 L/min × 2

60Hz：0–3.2 L/min × 2

压力：约 0.02 MPa（曝气专用）

尺寸 / 重量：约 170×90×50 mm / 约 1.2 kg

材质：外壳 ABS，泵体 PP，耐酸碱腐蚀

工作方式：电磁隔膜式，无油、低噪音（≤50dB）、可 24 小时连续运行

关键特点

双面同步电镀：正反面一次完成，均匀性好，适配 TSV/UBM 等三维封装。

循环过滤 + 溢流：底部对流 + 溢流设计，减少颗粒污染，镀液寿命长。

多材质兼容：支持 Si、SiC、GaAs、InP、玻璃等基板。

模块化设计：槽体、夹具、搅拌、电源可自由组合，适配不同工艺。

YAMAMOTO山本镀金  电镀设备 徐州

典型应用

半导体：TSV 硅通孔填孔、UBM 凸点、RDL 重布线、晶圆级封装（WLP）

MEMS：传感器、执行器、微流控器件精密电镀

功率器件：SiC/GaN 功率芯片背面金属化、欧姆接触

科研：镀液配方开发、工艺参数优化、小批量试制

功能与特点

用途：承载阳极（钛篮、贵金属网状阳极等），并在晶圆上下方形成对称电场，保证双面电镀均匀性。

结构：上下分体式，背面带导流槽，优化电流分布与药液流动，减少边缘效应。

材质：PP / 亚克力（耐酸碱、绝缘、耐腐蚀）。

适配：A‑52‑ST2/4/6/8/12 整机，与 P01A（槽体）、P02A（阴极盒）、P04D（搅拌桨）配套使用。

工艺价值：TSV/UBM/RDL/MEMS 等高深宽比、超薄镀层制程，膜厚均匀性可达 ±2.5%。