YAMAMOTO山本镀金 电镀设备 潍坊
A-52 系列 晶圆电镀槽的 U 型 / 上盖型（或密封型）衍生槽体型号，属于半定制 / 定制类槽体，用于 2–12 英寸晶圆精密电镀。

A-52 系列 晶圆电镀槽的 U 型 / 上盖型（或密封型）衍生槽体型号，属于半定制 / 定制类槽体，用于 2–12 英寸晶圆精密电镀。

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核心规格参数

额定电压：AC 100V（日本标准）

功率：100W

温控范围：室温～65℃（最高耐温 70℃）

保护机制：内置温度保险丝（70℃熔断），防干烧 / 过热

材质：石英玻璃加热管（耐酸碱）+ 不锈钢固定支架

尺寸：约 φ20×L210 mm（浸入长度约 180mm）

适配槽体：A-52-ST2-P01A（2 英寸亚克力槽）

配套控制器：B-93-YTC300（PID 温控器）或 B-85WJ（WJ 系列电源）

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功能与用途

加热镀液：为 2 英寸晶圆电镀槽提供均匀、稳定的温度控制，适配金 / 银 / 镍 / 铜等精密电镀工艺

过热保护：内置温度保险丝，干烧 / 超温自动断电，保护槽体与镀液

安装方式：垂直浸入槽内，固定于槽侧支架，不影响阴极 / 阳极布置

功能与特点

用途：承载阳极（钛篮、贵金属网状阳极等），并在晶圆上下方形成对称电场，保证双面电镀均匀性。

结构：上下分体式，背面带导流槽，优化电流分布与药液流动，减少边缘效应。

材质：PP / 亚克力（耐酸碱、绝缘、耐腐蚀）。

适配：A‑52‑ST2/4/6/8/12 整机，与 P01A（槽体）、P02A（阴极盒）、P04D（搅拌桨）配套使用。

工艺价值：TSV/UBM/RDL/MEMS 等高深宽比、超薄镀层制程，膜厚均匀性可达 ±2.5%。