YAMAMOTO山本镀金 电镀设备 调节器
用于 A‑53 系列 300mL 小型晶圆电镀槽，适配硅片 / 芯片凸点、UBM 等微量精密电镀实验

用于 A‑53 系列 300mL 小型晶圆电镀槽，适配硅片 / 芯片凸点、UBM 等微量精密电镀实验

YAMAMOTO山本镀金  电镀设备 调节器

额定输出：DC48V / 50W（必须配 YTC300

全长：135mm山本镀金试験器

管径：8mm（细管，适配微型槽）

发热段：50mm（浸入液面即可）

外壳材质：PFA（耐酸碱、耐腐蚀）

安全保护：内置温度保险丝（80℃），防干烧 / 过热

最高使用温度：≤65℃（硅片电镀常用）

适配槽体：A-53-M1-P01W（300mL IW 型）、A-53-M2-P01W（500mL IIW 型）

适配温控器：B-93-YTC300（DC48V/300W PID 温控器）

YAMAMOTO山本镀金  电镀设备 调节器

安全保护（核心卖点）

干烧保护：液位 / 温度异常自动断电

过热保护：内置温度保险丝（70℃）

加热器异常检测：电流监控，断线 / 短路即停

漏电保护：内置漏电断路器

传感器故障检测：Pt100 断线 / 接触不良报警

基础实验套装：

槽体：A-53-M1-P01W（300mL IW 型）

加热器：A-53-M1-P05WB（DC48V/50W）

温控器：B-93-YTC300（PID 控温）

搅拌：A-55-PCR200BWA（桨式阴极摇杆）

夹具：硅片专用夹具（10–50mm 方片 / 切片）

六、使用要点

接线：AC100–230V 输入，DC48V 输出接加热器

安装：传感器浸入液面下≥50mm，垂直安装

设定：PID 自整定，温度稳定后波动≤±0.1℃

中国使用：直接用（宽电压），无需变压器