YAMAMOTO山本镀金 电镀设备
这是一款无需使用泵类设备，仅借助磁力搅拌器即可实现溢流循环的创新型水槽。循环流量可自由调节，且极为节省空间。特别适用于硅片芯片镀膜、凸点镀膜等基础实验。标配用于晶圆芯片的专用夹具。

YAMAMOTO山本镀金  电镀设备

这是一款无需使用泵类设备，仅借助磁力搅拌器即可实现溢流循环的创新型水槽。循环流量可自由调节，且极为节省空间。特别适用于硅片芯片镀膜、凸点镀膜等基础实验。标配用于晶圆芯片的专用夹具。智能电池的结构

将智能槽置于磁力搅拌器上，通过旋转搅拌子进行使用。如图所示，采用溢流循环方式，即使镀液发生蒸发，也能使镀区的液面保持恒定，从而实现稳定的电流分布并维持稳定的镀覆面

YAMAMOTO山本镀金  电镀设备

智能电池的结构

将智能槽置于磁力搅拌器上，通过旋转搅拌子进行使用。如图所示，采用溢流循环方式，即使镀液发生蒸发，也能使镀区的液面保持恒定，从而实现稳定的电流分布并维持稳定的镀覆面积。

水槽容量分为500毫升和1000毫升两种规格。

500毫升规格可安装10×15毫米的夹具，1000毫升规格则可同时安装10×15毫米和30×30毫米两种夹具。

水槽容量及夹具尺寸的变更均可按特殊订制要求办理。

智能电池的结构

将智能槽置于磁力搅拌器上，通过旋转搅拌子进行使用。如图所示，采用溢流循环方式，即使镀液发生蒸发，也能使镀区的液面保持恒定，从而实现稳定的电流分布并维持稳定的镀覆面

电镀槽体

透明亚克力材质，自带溢流回流腔；分 500/1000mL；高温工况可选玻璃槽 A-56-0500G适配加热搅拌一体台。

阴极治具

硅晶圆 / 芯片样品夹持件，导电接触稳定，限定电镀区域，防止边缘漏镀。

阳极组件

阳极钛 / 铂电极 + PP 滤袋，阻挡阳极杂质颗粒污染晶圆镀层。

加热温控系统

浸入式探棒加热，PID 恒温控制，适配金、铜、镍凸点电镀恒温工艺。

磁力搅拌器

槽底搅拌子强制药液循环，消除晶圆表面浓差极化。

选配摆动装置

阴极往复小幅摆动，进一步优化晶圆平面镀层厚度均匀性。